Запускаем нанороботов (немного пояснив их принцип действия и метод управления) и уничтожаем ученых, техников и прочую ученую братию...
Зачем такие сложности? Гораздо проще создать вирус (типа птичьего гриппа, только с более быстрым сроком действия) и заразить им нескольких землян (желательно - в крупных городах). И все, дело сделано. Панэпидемия сама всех уничтожит, не затронув основных ресурсов. Оставшиеся 10-15% землям опасности не представляют - как правило, прячутся в глухих джунглях, тайге, горах, на островах и т.д., думают только о собственном выживании.
Сконструировать смертоносный (только для землян) вирус на основе уже имеющихся - не такая уж трудная задача, даже наши ученые с этим справляются.